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Nanonex纳米压印光刻机实现全自动化控制

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所在地: 江苏 盐城
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品牌: 迈可诺技术
 
 
产品详细说明
Nanonex纳米压印光刻机实现全自动化控制
 
NX-B100多功能整片基板纳米压印系统(热压印)
 
zui大75毫米直径压印面积  热压印
 
加热速度>200℃/分钟 制冷速度>60℃/分钟
 
NX-B200多功能整片基板纳米压印系统(热压印和紫外压印)
 
zui大75毫米直径压印面积  热压印和紫外压印
 
加热速度>200℃/分钟 制冷速度>60℃/分钟
 
58mW/cm2紫外LED光源;365纳米或395纳米波长可选;全自动化控制
 
NX-1000多功能整片基板纳米压印系统(热压印)
 
标配4英寸,6或8英寸压印面积可选  热压印 加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟
 
NX-2000多功能整片基板纳米压印系统(热压印和紫外压印)
 
标配4英寸,6或8英寸压印面积可选  热压印和紫外压印
 
加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟
 
200W窄带紫外光源;365纳米或395纳米波长可选;全自动化控制
 
Nanonex纳米压印光刻机
 
多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印系统
 
标配4英寸,6或8英寸压印面积可选
 
热压印和紫外压印
 
加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟
 
200W窄带紫外光源;365纳米或395纳米波长可选;全自动化控制
 
带对准功能(亚1微米对准精度) 多层次的纳米压印
 
对准模块 <1μm 3σ对准准确率 X, Y, Z, Theta平台
 
分场光学和CCD相机
 
了解更多关于Nanonex纳米压印光刻机信息,欢迎访问:
 
http://www.mycro.net.cn/mycro-SonList-1028236/
 
http://www.chem17.com/st119375/erlist_1028236.html
 
 
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